“精度”這個術(shù)語的正確含義，是指實際值接近給定值（或理論值）的程度。工程中使用的數(shù)值是表示實際值與給定值之間的偏差，即“不精確度”。所以，在定量地評價機床的精度時，常使用的是“偏差”和“誤差”、“公差”等術(shù)語。例如，在討論數(shù)控沖床的定位精度時，實際所給出的定位更大偏差0.03mm（公差帶寬度表示法）和定位偏差±0.015mrn（測量偏差表示）。在實際工作中常常引用如下一些精度術(shù)語和概念：
  1、測量精度是指數(shù)控沖床測量系統(tǒng)的精度。它包括測量基準(zhǔn)的誤差、測量系統(tǒng)的誤差以及讀數(shù)誤差等。
  2、控制系統(tǒng)定位精度是指伺服驅(qū)動系統(tǒng)和測量系統(tǒng)配合工作時沿坐標(biāo)軸方向某一點相對另一點進行定位的精度（以更大偏差衡量）。它除了包括測量精度外，主要表示伺服系統(tǒng)準(zhǔn)確執(zhí)行定位指令的能力。伺服系統(tǒng)元件開關(guān)時間和動作起停c包括正、反、換向）時間的波動，都會引起控制系統(tǒng)實際定位點的分散。
  3、重復(fù)定位精度（或重復(fù)精度）  是指數(shù)控沖床滑板位置的可重復(fù)性。重復(fù)定位精度主要由伺服系統(tǒng)和機床進給系統(tǒng)的性能所決定，例如，伺服元件開關(guān)特性、進給部件的間隙、剛性和摩擦特性等。一般情況下，重復(fù)定位精度是成正態(tài)分布的偶然性誤差，即在相同條件下，需在某一點定位時的預(yù)計離散程度作為其重復(fù)精度。
  4、數(shù)控沖床滑板定位精度是指測量系統(tǒng)、伺服系統(tǒng)和機床進給系統(tǒng)綜合作用而達到的定位精度。實際上它是測量精度和重復(fù)定位精度的綜合，或者說是控制系統(tǒng)定位精度再加上機床進給系統(tǒng)（間隙和彈性變形造成的誤差）的影響。
  5、數(shù)控沖床幾何精度是指機床各部件工作表面的幾何形狀及相互位置接近正確幾何基準(zhǔn)的程度。對于多坐標(biāo)數(shù)控沖床而言，各導(dǎo)軌面的直線度和平行度將引起各個坐標(biāo)軸的相應(yīng)角度變化，即顛擺、搖擺和滾擺。
  6、數(shù)控沖床定位精度是指機床在規(guī)定的加工空間范圍內(nèi)進行定位的精度，以可能出現(xiàn)的更大定位偏差表示。換句話說，機床定位精度是指按照允許輸入的位移指令進行定位時可能產(chǎn)生的更大偏差。機床定位精度包括測量系統(tǒng)、伺服系統(tǒng)、滑板進給系統(tǒng)以及各機,床部件相互幾何關(guān)系的影響。
  7、機床定位穩(wěn)定性，亦稱機床定位再現(xiàn)性是指在相當(dāng)長的時間內(nèi)保持機床定位精度的能力，它反映了環(huán)境溫度、機床溫度、外加載荷重量和機床磨損等因素的變化對機床定位精度的影響。
  8、機床精度是指機床在規(guī)定的條件（主要是溫度條件）工作時所能達到的機床定位精度。
   上述八項指標(biāo)都是靜態(tài)的（即在運動停止后進行測定的），這對各種數(shù)控機床都適用。但對于輪廓控制的機床，還要考核輪廓跟隨精度，這是一項動態(tài)精度，反映在運動過程中。
  9、輪廓跟隨精度是指實際運動軌跡接近于程序給定軌跡的程度。它影響著輪廓的加工精度，與伺服系統(tǒng)的速度放大系數(shù)、驅(qū)動時間常數(shù)、運動速度、輪廓切線方向變化率等素有關(guān)。
  10、機床加工精度（或稱加工精度）  是指機床上加工的工件所達到的精度。它不僅取決于上述各種機床精度指標(biāo)，而且還與夾具、刀具和工件本身的誤差有關(guān)。